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Kinco手持式觸摸屏在單晶爐應(yīng)用------常州步科電氣代理商

2023-04-21

一、行業(yè)背景單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。硅料經(jīng)加工得到高純度多晶硅,將多晶硅置入單晶爐中,可生長得到單晶硅。單晶爐制備單晶硅是半導(dǎo)體工藝的第一道工序,得到的單晶硅用來制造硅片,因此單晶爐在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中具有重要作用。單晶硅可采用區(qū)熔法、直拉法進行制備,直拉法可生長高純度單晶硅,可應(yīng)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,是主流制備工藝。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大,單晶爐市場需求隨之不斷增長,2021年,市場規(guī)模約為128億元。我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展極為迅速,晶圓廠建設(shè)興起,生產(chǎn)線不斷增多,拉動市場對高純度單晶硅需求快速上升。在此背景下,我國單晶爐行業(yè)迎來發(fā)展機遇。

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江蘇和訊自動化設(shè)備有限公司是江蘇最大的偉創(chuàng)產(chǎn)品總代理,成立于2012年,注冊資本1000萬元,是集研發(fā)、項目設(shè)計、銷售、維修、工控自動化培訓(xùn)為一體的專業(yè)自動化公司,主要代理銷售偉創(chuàng)變頻器、偉創(chuàng)ac70變頻器、偉創(chuàng)ac80變頻器產(chǎn)品。
二、工藝介紹


如上圖所示,單晶爐有著較為復(fù)雜的一套操作工藝流程,對坩堝提升旋轉(zhuǎn)與定位,爐體主副室升降與旋開,熱屏的升降等各種操作都需要在觸摸屏上完成,同時單晶爐設(shè)備較高,操作人員需爬高一邊觀察設(shè)備情況一邊操作觸摸屏畫面,對此,一個可移動的操作手柄顯得至關(guān)重要。另外在移動操作過程中,單晶硅都極其昂貴,在各工序操作中如有異常需要具有緊急停止功能,避免更大經(jīng)濟損失,所有的操作日志等都需要記錄下來形成歷史報表好供事后追溯。

同時單晶爐設(shè)備因為控制較為復(fù)雜,工序繁多,常使用大中型品牌PLC,西門子,倍福等,所以對于觸摸屏還需支持大中型PLC的標簽通訊讓工程制作起來更加方便快捷。

 三、步科解決方案

1.基本規(guī)格:7"TFT,800×480像素,1677萬真彩色;

2.標準配置:10個可編程功能鍵,1個三選擇開關(guān)、1個急停開關(guān)適用于安全性要求較高的場合;

3.實用設(shè)計:兼?zhèn)浒存I和觸控,應(yīng)用場合更廣,選擇更靈活;

4.使用耐久:移動操作手持終端標配5米電纜(10、15米可選),線纜可選柔性彈簧線,壽命長;

5.簡單安裝:支持VESA標準(75×75mm孔距)支架、掛架安裝,方便操作工攜帶。

四、方案特點

1.手持屏產(chǎn)品設(shè)計,觸摸屏設(shè)備可自由移動,方便調(diào)試;

2.自帶急停開關(guān),確保安全可靠;

3.觸摸屏面板配置多個可編程按鍵,靈活應(yīng)用,操作更加便利 ;

4.支持西門子,倍福等大中型PLC標簽通訊協(xié)議,組態(tài)開發(fā)效率更加高效;

5.支持操作日志記錄,數(shù)據(jù)采樣,生成報表曲線,支持導(dǎo)出數(shù)據(jù)表格文件。