2023-05-09
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。硅料經(jīng)加工得到高純度多晶硅,將多晶硅置入單晶爐中,可生長得到單晶硅。單晶爐制備單晶硅是半導體工藝的第一道工序,得到的單晶硅用來制造硅片,因此單晶爐在半導體產(chǎn)業(yè)中具有重要作用。
單晶硅可采用區(qū)熔法、直拉法進行制備,直拉法可生長高純度單晶硅,可應用在半導體產(chǎn)業(yè)中,是主流制備工藝。全球半導體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大,單晶爐市場需求隨之不斷增長,2021年,市場規(guī)模約為128億元。我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展極為迅速,晶圓廠建設興起,生產(chǎn)線不斷增多,拉動市場對高純度單晶硅需求快速上升。在此背景下,我國單晶爐行業(yè)迎來發(fā)展機遇。
如上圖所示,單晶爐有著較為復雜的一套操作工藝流程,對坩堝提升旋轉(zhuǎn)與定位,爐體主副室升降與旋開,熱屏的升降等各種操作都需要在觸摸屏上完成,同時單晶爐設備較高,操作人員需爬高一邊觀察設備情況一邊操作觸摸屏畫面,對此,一個可移動的操作手柄顯得至關重要。
另外在移動操作過程中,單晶硅都極其昂貴,在各工序操作中如有異常需要具有緊急停止功能,避免更大經(jīng)濟損失,所有的操作日志等都需要記錄下來形成歷史報表好供事后追溯。
同時單晶爐設備因為控制較為復雜,工序繁多,常使用大中型品牌PLC,西門子,倍福等,所以對于觸摸屏還需支持大中型PLC的標簽通訊讓工程制作起來更加方便快捷。
1.基本規(guī)格:7"TFT,800×480像素,1677萬真彩色;
2.標準配置:10個可編程功能鍵,1個三選擇開關、1個急停開關適用于安全性要求較高的場合;
3.實用設計:兼?zhèn)浒存I和觸控,應用場合更廣,選擇更靈活;
4.使用耐久:移動操作手持終端標配5米電纜(10、15米可選),線纜可選柔性彈簧線,壽命長;
5.簡單安裝:支持VESA標準(75×75mm孔距)支架、掛架安裝,方便操作工攜帶。
1.手持屏產(chǎn)品設計,觸摸屏設備可自由移動,方便調(diào)試;
2.自帶急停開關,確保安全可靠;
3.觸摸屏面板配置多個可編程按鍵,靈活應用,操作更加便利 ;
4.支持西門子,倍福等大中型PLC標簽通訊協(xié)議,組態(tài)開發(fā)效率更加高效;
5.支持操作日志記錄,數(shù)據(jù)采樣,生成報表曲線,支持導出數(shù)據(jù)表格文件。